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半導體高純氣體測量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點儀|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

半導體高純氣體測量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點儀

石英振蕩技術由于其精度極高，所以被廣泛的應用于半導體行業，電子氣體的監測等等，工業的很少用到這么高別的，因為工業的要求通常在1ppm以上。至于工業測量水分的技術主要分為：

鏡面法半導體高純氣體測量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點儀西門子U23分析儀
電阻法
電容法

電解法

上述幾種中鏡面法和電解法屬于**測量法，被定為國標推薦方法。其他的電阻法和電容法由于測量時候不夠準確，一般只作為定性判斷使用。但是鏡面法通常到1ppm時就已經到達極限，我經常看到有些產品會在自己的產品資料中寫可以測量露點20到-120度，其實全是廣告，他們的儀器能否溯源到NIST（美國國家標準局）？(ppb微量水分析儀）半導體高純氣體測量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點儀

石英振蕩測量水分是一種全新的科技，它2001年商品化，4年前我接觸到這個科技就一直堅信這種科技會取代很多其他測量水分的手段，但是它的成本一直比較高。

這種測量方法有幾的系列的產品，其量程有很幾個別：
0.2ppb-5ppm
0.4ppb-20ppm

2ppb-20ppm

20ppb-5000ppm半導體高純氣體測量ppb微量水含量使用ADEV石英振蕩露點儀

另外，這種原理現在除了能夠測量微量H2O之外，現在還能測量微量O2,CH4,SiH4,HF,HCl和很多其他的微量氣體雜質。

我希望更多的人能夠了解它的原理，不光是因為個人的原因，還有就是我國現在的氣體行業在高純氣體的水分測量這個領域是個空白，很多工程師還不知道如何去選定符合自己的儀器，往往還走過一段彎路，每次遇到這種客戶的時候我們彼此總是有些遺憾，遺憾沒有早點認識。另外就是每每聽到我們客戶對這種產品的肯定的時候會讓我很開心，并且越來越自信。

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