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半導體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統集成設計方案|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

半導體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統集成設計方案
大宗氣體連續質量控制系統，該系統由分析儀、機柜、管道、調壓器、PLC等運行分析設備，監測中水N2/O2/AR/HE/H2 Oxygen和THC含量，大宗氣體質量凈化過濾后的氣體應進行監測，觀察其純度、粒徑等指標是否高于實際工藝要求。目前重點在線連續監測氣體中的氧含量、水含量和粒徑，而間歇監測用于CO、CO2和THC雜質。測試結果將與其他測試參數（如壓力、流量等）一起發送到控制室SCADA（監控和數據采集）。

質量監控半導體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統集成設計方案

氣體分析系統是一套以在線自動分析儀器為核心，采用現代傳感技術、自動測量技術、自動控制技術、計算機應用技術，以及綜合分析軟件和網絡的綜合分析儀器。先進的氣體在線自動檢測控制系統，實施氣體自動檢測，可實現連續監測和遠程監控，為設備長期穩定運行提供可靠保障
流水線設計
1.管道平行鋪設，無交叉，整齊美觀
2、管道上的閥門錯開安裝，便于檢查、更換和操作
3、柜內管路無死角設計，保證分析的及時性半導體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統集成設計方案
4、明確閥位號標識
5、EP管出廠前均經過嚴格的保壓、氦檢、吹掃
6、背部采用無背壓設計，出廠前均經過測試
H2**

為確保**，氫氣分析柜設計有多重**保證半導體微量水微量氧分析儀顆粒分析儀色譜儀CQC系統集成設計方案

1、排氣、風速探頭，保證氫氣泄漏時，有足夠的風量使分析柜內的氫氣含量不至于爆炸極限
2.H2檢測器，檢測柜內氫含量

3、氫氣截止閥，當風速計檢測到風量低于設定值或氫氣檢測儀檢測到含量高于設定值時，將切斷柜內分析儀電源.源供應，并關閉氫氣供應

微量水分析儀一般我們選擇ppb級別的光纖衰蕩技術的光能科技公司產品，微量氧分析儀我們一般選擇日本液化空氣空氣的ppb微量氧分析儀。

大宗氣體CQC系統是一個量測 N2、O2、H2 等大宗氣體內之 H2O, O2, H2, CO, CO2, CH4, NMHC,N2,Ar 等不純物及粉塵顆粒(Particle)分析。設計規劃為按照氣體純度質量等進行。

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