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半導體行業常用特種氣體保護選擇ADEV G9600便攜式微量氧分析儀|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司
半導體行業常用特種氣體保護選擇ADEV G9600便攜式微量氧分析儀
半導體行業常用特種氣體種類一覽

1. 氮氣氮氣是半導體行業中常用的特種氣體之一。它被用于各種工藝,如氧化、硅化、氮化等。氮氣可以用于制造半導體材料、晶體管和太陽能電池。
2. 氬氣氬氣是半導體制造中使用的重要氣體。它被廣泛用于離子注入、物**相沉積和分子束外延等工藝。氬氣可以協助制造高質量的半導體材料。
3. 氫氣氫氣是半導體行業中另一個常用的特種氣體。它被用于各種工藝,如化學氣相沉積、表面處理和清洗等。氫氣可以幫助制造高質量的半導體材料。
4. 氟氣氟氣是半導體行業中用于制造氟化硅的重要特種氣體。它可以通過氧化氟來制造氟化硅,用于制造集成電路和其他半導體器件。
5. 甲烷甲烷是半導體制造中使用的另一個特種氣體。它被用于制造硅晶圓,可以幫助制造高質量的晶體。
6. 氦氣氦氣在半導體制造中主要用于制造激光器和其他光學器件。它也可以用于制造半導體材料和晶體管。
7. 氖氣氖氣在半導體行業中主要用于制造激光器和其他光學器件。它也可以用于制造半導體材料和晶體管。
8. 氧氣氧氣在半導體制造中主要用于氧化硅和氮化硅等工藝。它可以幫助制造高質量的半導體材料。

以上就是半導體行業中常用的特種氣體種類。這些特種氣體在半導體制造過程中起著重要的作用,幫助制造高質量的半導體器件。

半導體行業是一個高科技、高精尖的行業,需要使用大量的特種氣體。這些氣體在半導體制造過程中發揮著重要的作用。本文將為您介紹半導體行業常用的特種氣體種類。半導體行業常用特種氣體保護選擇ADEV G9600便攜式微量氧分析儀
1. 氧氣
氧氣是半導體制造過程中常用的特種氣體之一。它通常用于氧化硅和氧化鋁等化學反應中。氧氣還可以用于清洗半導體表面,去除表面的雜質和污染物。
2. 氮氣
氮氣是另一個半導體行業中廣泛使用的特種氣體。它通常用于制造高純度硅和氮化硅等材料。氮氣還可以用于半導體制造過程中的惰性氣氛,幫助保護半導體材料和設備。
3. 氫氣
氫氣在半導體制造中也有重要的應用。它通常用于清洗和去除半導體表面的污染物,同時也可以用于氧化和還原反應中。
4. 氬氣
氬氣是半導體行業中常用的惰性氣體。它可以用于半導體制造過程中的惰性氣氛,幫助保護半導體材料和設備。此外,氬氣還可以用于等離子體刻蝕和激光加工等工藝中。
5. 氙氣半導體行業常用特種氣體保護選擇ADEV G9600便攜式微量氧分析儀
氙氣也是半導體制造過程中常用的惰性氣體之一。它通常用于等離子體刻蝕和激光加工等工藝中。此外,氙氣還可以用于制造氙氣閃光燈和半導體激光器等設備。
6. 氟氣
氟氣是半導體行業中常用的化學氣體之一。它通常用于氟化物蝕刻和氟化硅等反應中。氟氣是一種非常危險的氣體,必須在特定的條件下使用。

半導體制造過程中需要使用多種特種氣體,這些氣體在半導體制造中發揮著重要的作用。半導體行業常用的特種氣體種類,包括氧氣、氮氣、氫氣、氬氣、氙氣和氟氣。在特氣中往往需要監控其中的氧含量,這里我們給您介紹這款產品。


G9600微量氧分析儀技術規格:

精度:<1%滿量程

范圍: 0-1,0-10,0-100,0-1000ppm 1%,或25%自動切換

應用:對惰性氣體,碳氫氣體,He,H2,CO2中的氧含量進行10ppb-10000ppm分析。

*儲存:具有數據儲存功能,可存儲10000個數據

*輸出:RS485

標定:使用濃度大約為80%量程或更高的經過認證的標準氣體

補償:溫度

接口:1/8”接頭

控制:旁邊不銹鋼開關鍵,正面功能鍵,屏幕開關鍵。

外觀:155*300*340

流量影響:0.25-2.5 L/M,推薦流量:1 L/M

壓力:0.2-1公斤;排空-大氣壓半導體行業常用特種氣體保護選擇ADEV G9600便攜式微量氧分析儀

電源:可充電電池,單電池可持續60天,開泵1天(內置泵為可選部件)

恢復時間:在空氣中暴露60秒鐘,用氮氣恢復至10ppm的時間為20分鐘

響應時間:90%滿量程為10秒

采樣系統:流量控和樣氣/旁四通閥,流量指示

靈敏度:<0.5%滿量程

傳感器型號:S8201,免維護

傳感器壽命:24個月,25℃,平均O2<100 ppm

溫度范圍:0-45℃

質保期:12個月

樣氣接觸部分:不銹鋼

可選件:內置取樣泵、便攜箱、過濾器

CO2專用傳感器、H2S專用酸性傳感器、堿罐

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滬公網安備 31010902002456號

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