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ADEV六氟乙烷微量水檢測:新隊員加入,守護半導體產業的質量|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

ADEV六氟乙烷微量水檢測:新隊員加入,守護半導體產業的質量

六氟乙烷,化學式為C2F6,是半導體產業中備受青睞的化合物。其出色的化學穩定性、微溶于水的特性、不易燃性以及高溫下的穩定性,使其在眾多應用中脫穎而出。但正如每個硬幣都有兩面,六氟乙烷在與可燃氣體共同燃燒時會產生有毒的氟化氫,因此,安 全操作至關重要。

在半導體產業的每一個環節,六氟乙烷都發揮著不可替代的作用:從干法蝕刻到化學氣相沉積,再到等離子體處理和離子注入,直至光刻膠剝離,它都是不可或缺的角色。ADEV六氟乙烷微量水檢測:新隊員加入,守護半導體產業的質量

ADEV六氟乙烷微量水檢測:新隊員加入,守護半導體產業的質量,然而,如此重要的化合物,其純度與穩定性更是關鍵。微量水分可能會威脅到六氟乙烷的純度與應用效果。舉例來說,若用于半導體制造的六氟乙烷中含有水分,那么蝕刻效果、薄膜的生長及材料的表面性能都可能受到**影響。鑒于此,對六氟乙烷中的微量水進行**檢測成為了行業內的迫切需求。

為了滿足這一需求,ADEV推出了全新的微量水分析儀。這款分析儀采用了五氧化二磷(P2O5)原理的微量水探頭,專門用于測量氣體中的水分含量。探頭設計的精妙之處在于其高科技的固態計算電路,它能準確、穩定地測量電解電流,進而確定水分含量。這種探頭的靈敏度極高,幾個ppm的水分含量都能被準確檢測出來,無疑成為了氣體中微量水分檢測的理想工具。ADEV六氟乙烷微量水檢測:新隊員加入,守護半導體產業的質量

ADEV的這款新設備就如同一個守護神,確保六氟乙烷的純度與應用效果達到預期,為半導體產業的穩定生產與質量提供保障。在未來的日子里,我們期待ADEV繼續為行業帶來更多**與突破。

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