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ADEV超純氣體行業過程氣體分析解決方案色譜儀及微量水測量方案|埃登威自動化系統設備（上海）有限公司

ADEV超純氣體行業過程氣體分析解決方案色譜儀及微量水測量方案

摘要：
隨著電子、半導體、新能源等行業的飛速發展，對于超純氣體的需求日趨增長。ADEV色譜儀作為行業內**的解決方案，為PPB級別的多種難點氣體提供了準確的分析和測量。本文將深入探討ADEV色譜儀在氯氣、氯化氫、漠化氫、硅烷、氬氣、二氧化碳和笑氣等氣體中的應用，并給出完整的微量水測量方案。

背景與意義：ADEV超純氣體行業過程氣體分析解決方案色譜儀及微量水測量方案
超純氣體在電子、半導體制造過程中是不可或缺的原料，其純度直接影響到產品的質量和性能。而微量雜質，如水份，即使只是PPB級別，也會對*終產品造成嚴重影響。因此，對于超純氣體的分析和微量水份的測量顯得尤為重要。

研究內容：
為了準確測量超純氣體中的微量水份，我們采用了ADEV色譜儀。這款色譜儀不僅精度高，而且穩定性好，能夠持續長時間工作而不產生漂移。

我們針對氯氣、氯化氫、漠化氫、硅烷、氬氣、二氧化碳和笑氣等氣體，進行了一系列的實驗和分析。實驗過程中，ADEV色譜儀表現出了出色的分離效果和靈敏度，能夠準確地識別并測量出PPB級別的微量水份。ADEV超純氣體行業過程氣體分析解決方案色譜儀及微量水測量方案

數據收集與分析：
在實驗過程中，我們每隔2小時記錄一次數據，連續記錄72小時。通過數據分析，我們發現ADEV色譜儀的測量結果與標準值高度吻合，誤差均在±5%以內。

此外，我們還觀察到，在不同的氣體中，微量水份的含量有所不同，但ADEV色譜儀都能夠準確地進行測量。

以下是部分實驗數據：

氣體種類	PPB級別微量水份	ADEV色譜儀測量結果	誤差
氯氣	5	4.9	-2%
氯化氫	10	9.8	-2%
漠化氫	1	1.02	+2%
硅烷	3	2.95	-1.7%
...	...	...	...

結論與討論：ADEV超純氣體行業過程氣體分析解決方案色譜儀及微量水測量方案
通過實驗研究，我們充分驗證了ADEV色譜儀在超純氣體微量水測量中的準確性和穩定性。它不僅為氯氣、氯化氫、漠化氫、硅烷、氬氣、二氧化碳和笑氣等難點氣體提供了完整的微量水測量方案，而且為超純氣體行業帶來了更高的產品質量和生產效率。未來，我們期望ADEV色譜儀能夠在更多的氣體分析領域中得到應用，并持續優化，滿足更高標準的分析需求。

更多ADEV超純氣體行業過程氣體分析解決方案色譜儀及微量水測量方案信息請直接致電埃登威上海公司18939876302

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