高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用
高純硅烷，一種在常溫常壓下表現為惡臭的無色氣體，因其與金屬鹵化物的激烈反應以及與L`C'1的反應，不能使用氟里昂滅火劑。其熔點為-185℃，沸點為-111.5℃。提純這種氣體的工藝通常采用低溫吸附連續液化精餾的方法。在生產過程中，為確保產品的質量和**，對氣體成分的連續監控是至關重要的。高純硅烷在半導體生產中有著廣泛的應用，如用于生長高純單晶硅、多晶硅外延片以及二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃、非晶硅等化學氣相淀積工藝。此外，它還被廣泛用于非晶硅太陽能電池、硅復印機鼓、光電傳感器、光導纖維、特種玻璃等的生產和研制。
為確保高純硅烷的生產和應用過程中的安 全與效率，ADEV的OxyTrend微量氧分析儀發揮了不可或缺的作用。這是一款適用于**區域和危險區域應用的電化學氧分析儀，符合ATEX分類（1/21區）的標準。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用
OxyTrend的主要特性如下：
此外，OxyTrend還具有雙線、回路供電的4-20 mA變送器功能，如果使用RS485串行總線，它還可以提供四線或五線連接接口或4-20 mA+RS485。ModBus RTU主設備或從設備可以通過菜單選擇。同時，它還可以通過RS485與ADEV 8RO4DI外部模塊連接，該模塊具有8個繼電器輸出和4個數字輸入。所有這些功能都集成在一個易于使用的包中，具有用戶友好的菜單和直觀的界面。高純硅烷中的ADEV微量氧分析儀應用
傳感器技術方面，ADEV氧傳感器基于電偶電化學燃料電池原理制造，并在嚴格的質量程序下進行生產。這些傳感器在其整個測量范圍內提供高水平的準確性、可靠性和線性。它們是獨立的，維護需求極少，無需清潔電極或添加電解液。
總的來說，OxyTrend在高純硅烷的生產和應用中發揮了至關重要的作用，確保了產品的質量和生產過程的安 全。
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