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八氟環丁烷C4F8與ADEV G9600微量氧分析儀的應用|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

八氟環丁烷C4F8與ADEV G9600微量氧分析儀的應用

在半導體制程中,八氟環丁烷C4F8扮演著不可或缺的角色。為了更好地了解和應用這一關鍵化學物質,了解其分子結構及應用場景至關重要。

C4F8的分子結構由四個碳原子和八個氟原子組成,形成了一個完全氟化的環狀結構。這種獨特的結構賦予了C4F8一系列獨特的物化性質,使其在半導體工藝制程中有著廣泛的應用。八氟環丁烷C4F8與ADEV G9600微量氧分析儀的應用

C4F8在常溫常壓下為無色、無味的氣態。其密度遠大于空氣,具有很強的電絕緣性,并且化學惰性強,耐高溫。這些特性使得C4F8在干法刻蝕、制冷劑和滅火劑等方面都有著出色的表現。

在干法刻蝕方面,C4F8可以用于保護硅深孔的側壁,提高硅刻蝕的各項異性。此外,它還可以作為刻蝕氣體,適用于蝕刻氧化硅、氮化硅和其他低介電常數材料。C4F8通常與其他氣體如氬(Ar)、氧氣(O2)或氮(N2)混合使用以調整蝕刻過程,從而滿足不同的工藝需求。八氟環丁烷C4F8與ADEV G9600微量氧分析儀的應用

然而,在半導體制造過程中,對C4F8中的微量氧進行**監測至關重要。在這方面,ADEV的G9600微量氧分析儀展現出了**的性能。

G9600具有寬泛的測量范圍、高精度和快速響應的特點。其便攜式外觀設計和輕巧的重量使其成為各種工作環境中的得力助手。此外,G9600還采用了先進的傳感器信號采集處理技術和全溫度范圍內補償技術,確保了在不同溫度條件下的準確測量。

為了滿足實際使用需求,G9600的標準配置包括主機、1/8英寸不銹鋼取樣管路、內置流量計和電源適配器。ADEV還為用戶提供兩年的備品備件清單,其中包括微量氧傳感器S8201,以確保長期使用的穩定性和準確性。八氟環丁烷C4F8與ADEV G9600微量氧分析儀的應用

結合C4F8在半導體制造中的廣泛應用和ADEV G9600微量氧分析儀的技術優勢,我們可以看到這一組合為半導體工藝制程提供了有力的保障。G9600的**測量能力、便攜性和強大的處理分析能力使其成為C4F8氣體監測的理想選擇,有助于確保半導體制程的**性和穩定性。

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