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水分在半導體制造過程中的影響及ADEV DP409露點儀參數|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

水分在半導體制造過程中的影響及ADEV DP409露點儀參數

半導體制造,常被形容為比火箭科學還要復雜,確實如此。其制造周期長、初期投資巨大,且設備昂貴。在這樣的背景下,避免任何形式的生產浪費變得至關重要。特別是水分,它作為主要污染物之一,在某些情況下可導致高達25%的收入損失。為確保產品質量和產量,**監測濕度和溫度成為不可或缺的一環。

水分的挑戰

在高科技納米級半導體制造中,即使經過除塵、除油等凈化步驟,微量水分仍可能殘留。這不僅影響產品質量,還可能降低產量。雖然完全消除水分是不現實的,但采用高精度的測量工具可以顯著減少其含量。水分在半導體制造過程中的影響及ADEV DP409露點儀參數

在潔凈室的暖通空調系統中,水分可能引發多種問題,如污染工藝、與化學品反應或導致靜電放電。在這樣的環境下,對相對濕度和溫度的準確測量變得尤為關鍵。

ADEV DP409露點儀的特點與應用

ADEV DP409手持式露點儀為滿足這些嚴格的需求而設計。其核心應用包括但不限于壓縮空氣、壓縮氣體、真空系統以及低壓和非承壓環境的測量。

其主要功能有:水分在半導體制造過程中的影響及ADEV DP409露點儀參數

  1. 烘干機功能檢查
  2. 使用點的等離子、壓力和溫度測量
  3. 壓縮機出口溫度檢查
  4. 烘干機入口溫度檢查
  5. 濕度控制(貯存、顆粒等)
  6. 壓降評估

而ADEV DP409的獨特之處不止于此:

  1. 其彩色觸摸屏用戶界面不僅時尚且易于操作,類似于智能手機體驗。
  2. 作為便攜式數據采集器,它能在閃存卡上記錄超過1億個數據點,方便用戶后續分析。
  3. 配備便攜式打印機,可即時打印測量值、地點和時間日期。水分在半導體制造過程中的影響及ADEV DP409露點儀參數
  4. 堅固耐用的手提箱中包括測量室、電池充電器、USB電纜和特氟龍軟管,確保用戶隨時隨地進行測量。

技術規格上,ADEV DP409提供了寬廣的測量范圍:

  • 露點: -100 ... +20 ℃td
  • 溫度: -30 ... +50 ℃(同時支持華氏和攝氏顯示)
  • 壓力: -0.1 ... 1.5 MPa(支持bar、MPa等多種單位)

總的來說,ADEV DP409露點儀憑借其高精度、快速響應和穩定性,成為半導體制造過程中監測水分含量的理想選擇。

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滬公網安備 31010902002456號

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