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含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹

在半導體工藝中,含氟電子特氣的應用廣泛,從芯片生長到器件封裝,幾乎每一個環節都離不開這些氣體。然而,含氟氣體具有一定的危險性,包括毒性、腐蝕性、燃燒性等,因此對其純度和穩定性的要求極高。在超純氣應用中,氣體中殘余的濕氣對過程處理的正常運作至關重要,而對濕氣的持續追蹤測量卻是一個難點。不過,ADEV儀表推出的QZ360露點儀為這一難題提供了有效的解決方案。含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹

QZ360露點儀是一款專門用于測量超高純氣體中微量水分含量的儀器。它基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。

QZ360露點儀的特點如下:含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹

  1. 測量下限低至-120°C(相當于不到1ppbV),能夠準確測量超純氣體中的微量水分。
  2. 測量穩定,重復性好,能夠提供可靠的測量結果。
  3. 高度集成的采樣裝置和緊湊小巧的設計,使得儀器易于安裝和維護。
  4. 提供模擬和數字輸出,能夠方便地連接到控制系統或顯示模塊。含氟電子特氣Ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹
  5. 可選的兩線制、三線制和危險區域的型號,以及可自定義的產品設計,滿足各種特殊需求。

在使用含氟電子特氣的過程中,通過QZ360露點儀進行Ppb微量水檢測,能夠確保含氟氣體的純度和穩定性,從而提高半導體產品的性能和可靠性。隨著半導體工藝的不斷發展和進步,對含氟電子特氣的需求將進一步增加,而QZ360露點儀在保障含氟氣體質量方面將發揮更加重要的作用。

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滬公網安備 31010902002456號

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