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半導體特氣與工業氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

半導體特氣與工業氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹

隨著科技的飛速發展,工業氣體在各領域的應用越來越廣泛。其中,半導體特氣因其高純度要求,成為工業氣體中特殊的一類。電子特氣不僅是制造集成電路、液晶面板等的關鍵原料,其純度還直接影響著產品的性能和可靠性。

電子特氣的純度通常要求在5N以上,而用于晶圓制造的特氣純度要求更為嚴格,一般在6N以上。這種高純度意味著氣體中的雜質含量必須極低,才能滿足電子特氣的純度要求。半導體特氣與工業氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹

然而,即使達到了這樣的純度標準,氣體中的微量水也是不容忽視的問題。在許多超純氣應用中,如半導體工業,氣體的微量水對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來,微量水的持續追蹤測量都是一個技術難題,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。

但現在,一款新的露點儀變送器QZ360的出現,為這一問題提供了有效的解決方案。這款露點儀變送器是基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產和校驗的專業經驗,結合標準工業化的材料和制造流程,打造出的適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。半導體特氣與工業氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹

QZ360高純氣體露點變送器專門用來測量超高純氣體中的微量水分含量。其測量下限達到驚人的-120°C露點(相當于不到1 ppbV),測量穩定性和重復性好。而且使用和安裝都很簡單,可選兩線制、三線制和危險區域的型號,是一款可自定義的產品,可以滿足各種特殊需求。

此外,QZ360的傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成,內部潔凈度達到清潔室標準。該產品的設計具有*小的內部結構,確保了過程應用中*快的響應速度,也保證了濕度測量時的*快響應速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內工作,同時整個系統可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。

QZ360的安裝和操作都很簡便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為120mm,符合標準。整個產品的高度僅為150mm,重量小于500g。而且QZ360是一個兩線或三線制的變送器,提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。假如應用中需要顯示露點值或濕度值,QZ360還可以提供兩種顯示方式。顯示器可以很容易連接,也可以作為QZ360的電源。半導體特氣與工業氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹

QZ360露點儀變送器的出現,填補了市場上的空白,為電子特氣的微量水檢測提供了一種簡單、經濟的解決方案。其精準的測量和可靠的性能,不僅有助于提高半導體產品的性能和可靠性,也為工業氣體的高純度應用提供了新的技術支持。隨著科技的不斷發展,我們有理由相信,未來會有更多**的產品和服務涌現出來,推動工業氣體在各領域的應用邁向新的高度。半導體特氣與工業氣體中Ppb微量水QZ360露點儀介紹

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