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半導體工藝氣體純化新紀元:ADEV微量氧分析儀的新應用|埃登威自動化系統設備(上海)有限公司

半導體工藝氣體純化新紀元:ADEV微量氧分析儀的新應用

隨著半導體技術的飛速發展,器件尺寸不斷縮小,幾何結構日益復雜,對工藝氣體的純度提出了****的高標準。在這一背景下,即便是微量的污染物也足以對芯片的性能造成顯著影響,因此,工藝氣體的凈化技術成為了半導體制造中不可或缺的一環。

面對六大類主要污染源——水分、大氣雜質、金屬顆粒、有機污染物、難熔化物及其他潛在雜質,半導體制造商們正積極尋求更高效、更精準的凈化解決方案。隨著產量的提升和氣體消耗量的激增,傳統的“擲飛鏢”式凈化方法已難以滿足當前的需求,取而代之的是“保齡式擊中污染物”的全方位凈化策略。這種策略強調在每個凈化步驟中盡可能多地去除污染物,確保工藝氣體的超高純度。半導體工藝氣體純化新紀元:ADEV微量氧分析儀的新應用

在工藝氣體凈化的關鍵環節——氣體接收與儲存以及使用點,ADEV微量氧分析儀憑借其**的性能脫穎而出。這款分析儀采用了先進的電鍍傳感器技術,實現了對氧氣濃度的高精度檢測,尤其是在低至100ppb的極低濃度范圍內,展現了非凡的靈敏度和準確性。這一技術突破不僅推動了分析儀在半導體行業的應用邊界,也為高靈敏度需求的場景提供了可靠的數據支持。

G9600微量氧分析儀的**性能得益于其精心設計的系統架構。集成的不銹鋼旁路采樣系統不僅延長了傳感器的使用壽命,還顯著提升了操作效率與生產力。通過自動化范圍設置、零點校準、系統診斷等功能的集成,用戶能夠享受到****的便捷操作體驗。此外,該分析儀還具備快速斷開接頭,可輕松連接外部進樣系統,進一步拓寬了其應用范圍。半導體工藝氣體純化新紀元:ADEV微量氧分析儀的新應用

在技術參數方面,G9600微量氧分析儀表現出色。其測量范圍靈活可調,覆蓋了從0-10ppm到0-25%的廣泛區間,滿足了不同應用場景的**需求。精度優于滿量程的1%,確保了測量結果的可靠性與準確性。同時,該分析儀還專注于惰性氣體及碳氫氣體中氧含量的**分析,廣泛應用于化工、石油、半導體制造等行業。半導體工藝氣體純化新紀元:ADEV微量氧分析儀的新應用

在**性能方面,G9600微量氧分析儀采用了本質**設計,符合Class I, Div. I, Groups A, B, C, D的區域等級要求,確保了在易燃易爆環境下的**使用。此外,其標定與補償功能、接口與控制設計、顯示與外觀、性能參數以及采樣系統等方面均表現出色,為用戶提供了全方位的上等體驗。

綜上所述,ADEV微量氧分析儀以其**的性能、便捷的操作、廣泛的應用領域以及可靠的**性能,在半導體工藝氣體純化領域樹立了新的標桿。隨著半導體技術的不斷進步和工藝氣體凈化需求的日益增長,這款分析儀必將在未來發揮更加重要的作用,推動半導體制造向更高水平邁進。

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