羅卓尼克溫濕度監測方案:半導體行業潔凈室問題與對策
在半導體行業中,潔凈室的溫濕度控制是至關重要的,它直接關系到產品的加工精度、合格率以及生產環境的潔凈度。不同半導體產品,如面板顯示、微機電、晶圓、芯片等,對溫濕度的要求各有差異,但普遍追求高精度的控制范圍。
半導體潔凈室溫濕度控制的挑戰
在大規模集成電路的生產過程中,特別是光刻曝光工藝環節,掩膜板材料與硅片的熱膨脹系數差異對加工精度有著極高要求。例如,直徑僅為100微米的硅片,在溫度上升1℃時,就會產生0.24微米的線性膨脹。這種微小的變化足以影響產品的質量和性能。
此外,潔凈室內的溫度還會影響人員的舒適度,進而可能對產品造成污染。當溫度升高時,人員容易出汗,汗水中的鹽分和其他成分可能對半導體產品,特別是怕鈉的半導體材料,造成不可逆轉的損害。羅卓尼克溫濕度監測方案:半導體行業潔凈室問題與對策
同時,濕度也是影響潔凈室環境的重要因素。濕度過高會導致物體表面的灰塵難以**,而濕度過低則可能因靜電力作用使粒子吸附于物體表面,造成半導體器件的擊穿。
羅卓尼克溫濕度監測解決方案
針對半導體行業潔凈室的溫濕度控制問題,羅卓尼克提供了精準、穩定、易用的溫濕度監測方案。其HF1和HF5系列溫濕度變送器在半導體客戶中贏得了廣泛贊譽。
HF1溫濕度變送器
作為經濟款變送器,HF1系列以其高性價比和出色的性能贏得了客戶的青睞。它可選配SW21軟件進行量程變更和校準標定,提供了高精度的測量結果。同時,其小巧的體積和USB接口設計使得安裝和調試變得異常簡單。羅卓尼克溫濕度監測方案:半導體行業潔凈室問題與對策
HF5溫濕度變送器
HF5系列變送器則以其高精度和多功能性著稱。它可與所有帶AirChip芯片的HC2探頭配合使用,實現高精度的溫濕度測量。探頭的更換簡單輕松,且自帶實體按鈕可現場輕松校準。此外,HF5系列還支持多種濕度學參數輸出和任意點校準功能,確保了更穩定、準確的測量精度。
總結羅卓尼克溫濕度監測方案:半導體行業潔凈室問題與對策
在半導體行業潔凈室中,羅卓尼克的溫濕度監測方案以其精準、穩定、易用的特點,有效解決了溫濕度控制難題。通過HF1和HF5系列溫濕度變送器的應用,客戶能夠實現對潔凈室溫濕度的**控制,從而確保產品的加工精度、合格率和生產環境的潔凈度。同時,這些變送器還提供了豐富的功能和選項,滿足了客戶對高精度、長期穩定以及在線校準等需求。
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