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六氟丁二烯氣體環保高效的半導體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
六氟丁二烯作為一種在半導體制造領域備受青睞的特種氣體，尤其在干法蝕刻工藝中展現出了**的性能。其高刻蝕速率、均勻的蝕刻效果以及出色的刻蝕選擇比，使其成為該工藝中的佼佼者。此外，與其他氟化物相比，六氟丁二烯的全球變暖潛能值（GWP）極低，幾乎可以忽略不計，這使其在環保方面具有顯著優勢。在半導體制造的多個關鍵環節，如晶圓刻蝕、金屬蝕刻以及氧化物蝕刻等，六氟丁二烯均得到了廣泛應用，展現了其作為環保高效特種氣體的獨特價值。
測量六氟丁二烯氣體的微量氟化氫氣體該如何測量呢?這里我們給大家介紹一款ADEV激光HF氣體分析儀.
AtLAS 激光氣體分析儀六氟丁二烯氣體環保高效的半導體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
AtLAS 激光氣體分析儀基于可調諧激光吸收光譜技術（TDLAS）原理進行測量，獲取待測氣體特征吸收的光譜譜線。半導體激光器發射出特定波長的激光束（僅能被被測氣體吸收），穿過被測氣體時，激光強度的衰減與被測氣體的濃度成一定的凼數關系，從而進行的定量分析。
AtLAS 激光氣體分析儀采用 19 英寸標準機箱，將微控制器與數字化處理技術相結合，具有完整的自我診斷功能。
技術原理：六氟丁二烯氣體環保高效的半導體制造特種氣體微量氟化氫該如何檢測
利用電流和溫度**調制激光器（可調諧）波長， 可以掃描被測氣體的特
產品特點：
定吸收峰｛無背景氣體吸收）， 得到該氣體吸收的二次諧波，利用二次諧波及該
?
可靠性和穩定性好；
氣體的展寬信息，可計算出該氣體的濃度。
采用“單線光譜”技術，測量不受背景氣體交叉干擾；
TDLAS 技術通過激光波長掃描技術修正了粉塵和視窗污染對測量的
影響；
完善的自診斷功能；
視窗表面覆蓋一塊鋼化玱璃，增強觸摸屏的撞擊保護；
采用 7 寸彩色觸摸屏，顯示直觀，操作方便。
應用領域：
化工、焦化、制藥、冶金、環保、食品等發酵過程監測，生物反應器，堆肥處理，自動惰封系統，離心機，沼氣/填埋氣體中CH4 濃度監測。
技術指標：
測量范圍
0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
線性誤差
±2%FS
重復性
±1%FS
穩定性
±1%FS/半年
響應時間
T90 小于 10s
校準周期
1 年（建議）
顯示器
7 寸彩色觸摸屏
氣路接口
G1/4＂-Φ6 快擰接頭（可以定制）
接線方式
接線端子
傳感器壽命
大于 2 年（正常使用）
儀器壽命
大于 5 年（正常使用）
供電電源
85～264VAC，50/60Hz
儀器功耗
＜20VA
環境溫度
-10～+50℃
環境濕度
小于 90%RH
進氣壓力
常壓±10%（出氣口應為大氣壓）
進氣流量
1～3L/min
通訊
RS485（標配）/RS232（選配）
Modbus RTU 協議
數量：1 組
模擬信號
輸出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持軟
件切換
負載：小于 500Ω
開關量信號
報警點：1 個
繼電器觸點容量：24VDC，0.2A
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