氣體質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品名稱(chēng):
氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào):
SFC5000
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品描述
Sensirion公司SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器有助于實(shí)現(xiàn)寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍內(nèi)極其**和可重復(fù)的控制。氣體質(zhì)量流量控制器的出色性能基于Sensirion**的CMOSens?技術(shù)，它在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號(hào)處理電路。在芯片上，傳感器信號(hào)被直接轉(zhuǎn)換成完全校準(zhǔn)，帶溫度補(bǔ)償?shù)臄?shù)字信號(hào)。該質(zhì)量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外，它們實(shí)現(xiàn)了新的可選功能，如多氣體測(cè)量、氣體識(shí)別和自檢能力。SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器是整個(gè)工業(yè)和醫(yī)療市場(chǎng)各種應(yīng)用的理想解決方案。
氣體質(zhì)量流量控制器 的詳細(xì)介紹
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SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器有助于實(shí)現(xiàn)寬動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍內(nèi)極其**和可重復(fù)的控制。氣體質(zhì)量流量控制器的出色性能基于Sensirion**的CMOSens®技術(shù)，它在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感器元件和模擬/數(shù)字信號(hào)處理電路。在芯片上，傳感器信號(hào)被直接轉(zhuǎn)換成完全校準(zhǔn)，帶溫度補(bǔ)償?shù)臄?shù)字信號(hào)。該質(zhì)量流量控制器具有模擬和數(shù)字接口。此外，它們實(shí)現(xiàn)了新的可選功能，如多氣體測(cè)量、氣體識(shí)別和自檢能力。SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器是整個(gè)工業(yè)和醫(yī)療市場(chǎng)各種應(yīng)用的理想解決方案。
SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器特性
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高精度和可重復(fù)性
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優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和可靠性
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寬動(dòng)態(tài)范圍（量程比1000:1）
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超快氣體流量控制（穩(wěn)定時(shí)間小于50毫秒）
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多氣體、多量程可選和氣體識(shí)別功能
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數(shù)字和模擬接口
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靈活的機(jī)械接頭選項(xiàng)：鈑金式安裝、VCR和VCO，Swagelok、C-/W-Seal等。
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校準(zhǔn)可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)
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源于**CMOSens® 技術(shù)的杰出價(jià)值
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可根據(jù)要求提供定制化產(chǎn)品
SFC5000系列氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域
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分析儀器（如氣相色譜、質(zhì)譜）
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醫(yī)療設(shè)備（如呼吸機(jī)、麻醉）
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工業(yè)過(guò)程自動(dòng)化（如涂層、熱處理）
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半導(dǎo)體行業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
