Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)

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產(chǎn)品名稱: Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)

產(chǎn)品型號: Mini ODS

產(chǎn)品展商: 其它品牌

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng) Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠為許多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計，卻是一個完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動裝置。

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng) 的詳細介紹

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)

Mini ODS是緊湊但完整的臭氧輸送系統(tǒng)，能夠為許多晶元處理應(yīng)用提供濃度高達 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。該系統(tǒng)雖然使用緊湊型設(shè)計，卻是一個完整的臭氧輸送系統(tǒng)，包含：高濃度臭氧發(fā)生器、高濃度臭氧監(jiān)測儀、基于微處理器的控制器和滿足全部要求的調(diào)節(jié)器和氣動裝置。

Teledyne API高純度臭氧輸送系統(tǒng)Mini ODS能夠拓展支持額外的獨立流程臭氧發(fā)生器，這些流程可需求不同濃度和不同流量的臭氧。該儀器操作和維護簡單，不需求消耗品或預(yù)防性維護。該系統(tǒng)也能與通常濕法工藝中需求的溶解臭氧監(jiān)分析儀交互。為了更加**，該系統(tǒng)也能與TAPI的多通道臭氧泄露探測儀和臭氧破壞器子系統(tǒng)聯(lián)鎖。