Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統ODS
ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統為要求*高的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統整合完全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數半導體機臺聯動，插入即可使用。產品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀，Fei （維修中心，代表處，總代理，分公司，子公司，售后中心，銷售中心，上海辦，辦事處）
該系統基于微處理器的控制器能夠根據用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統ODS該臭氧輸送系統包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險。
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高純度水冷臭氧發生器，可生產濃度高達350 g/Nm3的臭氧
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先進的高濃度監測儀
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使用質量流量控制器監測和控制臭氧和進料氣
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完整的**聯鎖和EMO系統
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支持*多四個獨立的伺服控制回路
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19英寸機架固定，頂端配有排氣系統，底端配有輪子
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統ODS規格
Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統ODS - 氧氣輸送系統具有多功能性，且安裝使用簡單，已經廣泛應用在需求不同濃度、流量的薄片處理應用中，例如：
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半導體
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化學氣相沉積(CVD)
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原子層沉積(ALD)
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氧化物生長
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表面處理
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粒子清潔
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光刻膠去除
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灰化
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