日本thermocera陶瓷頂加熱器

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產品名稱: 日本thermocera陶瓷頂加熱器

產品型號: 日本thermocera價格

產品展商: 其它品牌

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃
支持超高溫和超高真空支持所有定制要求
電熱絲：NiCr，石墨，SiC / PBN涂層，PG涂層和其他10種材料可供選擇

日本thermocera陶瓷頂加熱器 的詳細介紹

日本thermocera陶瓷頂加熱器醉高1800℃

總覽

陶瓷頂部加熱器可廣泛用于真空，惰性氣體和其他各種工藝氣體中的薄膜研發應用，以及各種真空膜沉積設備應用。頂板由氮化鋁制成，氮化鋁在高溫下具有出色的導熱性，并且具有很高的電絕緣性（也可提供Inc600，石英，Mo，W，BN板等）。可以根據使用條件來選擇加熱器元件，例如金屬線例如NiCr，Inc，Mo，W，碳加熱器例如石墨和CCC，以及涂層加熱器例如PG / SiC / PBN涂層。它不僅用于研發，而且在半導體制造設備和各種真空設備（超高真空設備，例如PVD，CVD，MBE等）中的高溫熱板和基板加熱階段方面也取得了許多成就。

*日本thermocera陶瓷頂加熱器陶瓷頂部加熱器是定制產品。要求估算時，請告知我們所需的規格和條件。

8“ NiCr元素800℃

3”石墨1300℃

6”西伯克大衣1400℃

2”石墨1200℃

日本thermocera陶瓷頂加熱器使用

?真空薄膜形成（CVD，濺射，ALD，PLD，MBE等）
?薄膜應力/熱分析
wafer晶圓退火的加熱臺
?其他

使用的發熱體：根據使用環境，可以從以下10種電線中選擇

NiCr加熱器Max1000℃?Inconel
加熱器Max1000℃
?鎢加熱器Max1800℃
?鉬加熱器Max1800℃
?鹵素燈加熱器Max900℃
?石墨加熱器Max2,200℃（真空）
?C / C復合加熱器Max2,200℃（真空））
?各種涂層加熱器（PG，PBN，SiC涂層，玻璃碳）*醉高工作溫度因工作條件而異。