半導體高純氣體CQC系統集成

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產品名稱: 半導體高純氣體CQC系統集成

產品型號: ppb級電子氣微量氧水分析儀

產品展商: 其它品牌

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簡單介紹

半導體高純氣體CQC系統集成按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類，特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣，電子大宗氣作為半導體集成電路制造的關鍵材料，其生產的不間斷性、性等對于半導體集成電路制造起著關鍵性作用，其中cqc分析儀的讀值對整個系統的穩定性、可靠性和質量、起著決定性作用

半導體高純氣體CQC系統集成 的詳細介紹

半導體高純氣體CQC系統集成

我們知道電子大宗氣是發展集成電路、微電子、光電子，尤其是超大規模集成電路、半導體發光器件、液晶顯示器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，并從根本上制約著電路和器件的**性和準確性，按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類，特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝，高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣，電子大宗氣作為半導體集成電路制造的關鍵材料，其生產的不間斷性、**性等對于半導體集成電路制造起著關鍵性作用，其中cqc分析儀的讀值對整個系統的穩定性、可靠性和質量、**起著決定性作用；傳統方案是由操作人員對數值設簡單的ooc或oos報警，出現問題后人員再對事件進行分析判斷和處理的故障后分析處理，但是這種方法很難判斷故障原因，而且維修時間比較長，同時處理時可能造成嚴重的事故。

半導體高純氣體CQC系統集成主要由氣體的水分分析儀，氧分分析儀，顆粒分析儀和氣象色譜分析儀組成，針對氣體中的水分, 氧分, 固體顆粒物，碳氧化合物，碳氫化合物，氮, 氫等雜質氣體的含量進行測量監控。

通常測定高純氣體中 10- 6～10- 9量級 O2時，則赫茲電池式氧分析儀更有獨到之處，而其他氧分析儀則不能滿足其要求，而對于樣氣中含有微量酸性氣體的情況，只有赫茲電池式氧分析儀才能排除其干擾，防止傳感器中毒，給出準確的分析數據。赫茲電池式氧分析儀的代表廠家是日本液化空氣公司。

微量水分析儀一般選擇光纖衰蕩技術，以Tiger Optics和光能科技為代表。

顆粒度儀則可以選擇PMS等三家公司品牌。

所有 CQC 儀器柜都配置有各分析儀器所需硬件，即儀器機柜、管件、閥件、氫氣泄漏偵測器、零點純化器、
過濾器等。樣氣、標氣、儀表氣、輔助氣等氣路銜接口均設置于儀器柜上方，并于各儀器機柜上方設置有 4”
負壓抽風口。所需管路，閥件，輔助件均為 EP 級，并遵照客戶所規定品牌供應商;管路焊接均采用自動焊接，以符合超高純氣體使用要求。

更多半導體高純氣體CQC系統集成信息請直接致電埃登威上海公司13482246053

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